真空泵是利用機械、物理、化學、物理化學等在某一封閉空間中對容器進行抽氣,以獲得和維持真空的裝置。真空泵和其他設備(如真空容器、真空閥、真空測量儀表、連接管路等)組成真空系統(tǒng),廣泛應用于電子、冶金、化工、食品、機械、醫(yī)藥、航天等部門。
真空泵按結構類型可分為機械式,噴射式和吸著式,凡是利用機械運動來獲得真空的泵稱為機械真空泵。按其工作原理及機構特點分為變容真空泵和動量傳輸泵,變容式真空泵是利用泵腔容積的周期性變化來完成吸氣和排氣以達到抽氣目的的真空泵。這種泵分為旋轉式和往復式兩種,旋轉式真空泵利用泵腔內轉子部件的旋轉運動將氣體吸入、壓縮并排出,主要有有以下四 類:(1)液環(huán)真空泵;(2)油封式真空泵;(3)干式真空泵;(4)羅茨真空泵。液環(huán)真空泵將帶有多葉片的轉子偏心裝在泵殼內。當它旋轉時,把工作液體拋向泵殼形成與泵殼同心的液環(huán),液環(huán)同轉子葉片形成了容積周期變化的幾個小的旋轉變容吸排氣腔。工作液體通常為水或油,所以亦稱為水環(huán)真空泵或油環(huán)真空泵。用水作工作液,極限壓強只能達到2000~4000 Pa。用油作工作液,可達130 Pa。文章中油式旋片真空泵屬于液環(huán)真空泵的一種,工作液為真空泵油。